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ベローズ・フレキシブチューブなどを主に製作事例を掲載しております。ご覧ください。

ICFフランジが付いた超高真空用ベローズ

ICF114フランジ付のベローズ  バネ定数28N/mm  軸方向変位 +7mm/-13mm  

設計圧力 (内)真空  (外)大気

ICFフランジ(コンフラットフランジ)
超高真空装置に最も多く使用されているフランジで、金属ガスケットを使用します。ガスケット溝にナイフエッジと呼ばれるエッジが立っておりエッジに傷がつくと真空シールを行うことができないので、取り扱いには注意が必要です。
JISフランジと比べてボルト穴の数が多い(コンフラットフランジはVaridn社の商品名です)

 

ICFフランジが付いた超高真空用ベローズ
寸法 ベローズ内径60mm  面間120L
板厚 0.2mm
材質 ベローズSUS316L フランジSUS304L  エルボ・パイプSUS304